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FAETH社の代理店業務
IC製造コスト削減の最終手段に、CMPスラリー再生をご提案します
弊社はFAETH社の日本代理店となり、Slurry Recycle Systemを販売しております。
再生スラリーは、新しいスラリー以上に安定した研磨レートと、低パーティクルを実現します。
スクラッチも少なく大きな生産コスト低減に役立ちます。
リサイクルで廃液も少なく、環境にも優しいのも大きなメリットです。
- コレクションタンクに回収された使用済みスラリーを、プレフィルターで不純物を取り除いた後、
リサイクルタンクに移される。 - リサイクルタンクから出た使用済みスラリーは、何度もウルトラフィルターを通過させ水と分離し、
粘度の高いスラリーを作り上げる。 - 回収された水はPhの高い純水となり、パーミエィトタンクに集められる。CMPの洗浄やスラリー希釈用の水、
あるいはフィルターをバックフラッシュで洗浄する用途に使われる。 - 粘度が、ある程度高くなったリサイクルスラリーは、決められた粘度とPhに調整される。
スラリー再生装置 OUTLOOK of Slurry Recycling
再生されたスラリーの特性は安定した研磨レートが得られスクラッチの少ないCMP結果が得られる。
Outlook of Slurry Recycling(スラリーリサイクルのOutlook)
装置は「ストレージタンク部(コレクションタンク部)」、「リサイクル装置部(リサイクルタンク パーミエイトタンク部含む)」、「調合タンク部」、「貯蔵タンク部」の4部で構成される。
ご契約までの流れ
- プレゼンテーションで興味が有り、設置を検討したい
- 両社でNDAを交わす
- CMPの使い方把握の為、FAETH社の質問状に記入
- > ドレイン・サンプルを提出
- ROI計算値及び提案書を提示
- > 装置仕様
> 価格
> 評価期間
> ROI保証値合意
- 装置導入の合意
- 導入後・評価性能確認後 検収購入決定
FAETH社とは
FAETH CMP Slurry Recycling(FAETH CMP スラリーリサイクル)
経緯:
- 2000年からドイツでオキサイドスラリーのリサイクル装置開発プロジェクトスタート。
- フィルター技術のUS特許を昨年取得。
- ヨーロッパ、米国、東南アジアに販売韓国、台湾、日本はキャンペーン中。
- TIヨーロッパと開発:セリア、W用を開発中。
特徴:
- ドレインからの使用済みスラリーの85%を回収。純水は85%再利用水として回収できます。
- マイクロスクラッチが、フレッシュスラリー100%より少ない結果が得られます。
- ROIを保証します。
- 少ない定期部品交換で、PMコストが抑えられています。
- 分離した水で、頻繁にフィルターをバッフラッシュし、洗浄します。
- Phチェック、濃度チェックを毎リッターでオンラインチェック、品質を管理します。
- 装置サイズは工場の規模に合わせて提案。
- 2010年フィルター技術のUS特許を昨年取得済みです。