MBソリューションズ株式会社

代理店事業(FATH社)

FAETH社の代理店業務

IC製造コスト削減の最終手段に、CMPスラリー再生をご提案します

弊社はFAETH社の日本代理店となり、Slurry Recycle Systemを販売しております。
再生スラリーは、新しいスラリー以上に安定した研磨レートと、低パーティクルを実現します。
スクラッチも少なく大きな生産コスト低減に役立ちます。
リサイクルで廃液も少なく、環境にも優しいのも大きなメリットです。

装置画像
  • コレクションタンクに回収された使用済みスラリーを、プレフィルターで不純物を取り除いた後、
    リサイクルタンクに移される。
  • リサイクルタンクから出た使用済みスラリーは、何度もウルトラフィルターを通過させ水と分離し、
    粘度の高いスラリーを作り上げる。
  • 回収された水はPhの高い純水となり、パーミエィトタンクに集められる。CMPの洗浄やスラリー希釈用の水、
    あるいはフィルターをバックフラッシュで洗浄する用途に使われる。
  • 粘度が、ある程度高くなったリサイクルスラリーは、決められた粘度とPhに調整される。

スラリー再生装置 OUTLOOK of Slurry Recycling

再生されたスラリーの特性は安定した研磨レートが得られスクラッチの少ないCMP結果が得られる。

Flow Diagram:Filtration Phase
Flow Diagram:Filtration Phase
Removal Rate Consistency
Removal Rate Consistency
Uniformity and Defectivity
Uniformity and Defectivity

Outlook of Slurry Recycling(スラリーリサイクルのOutlook)

装置は「ストレージタンク部(コレクションタンク部)」、「リサイクル装置部(リサイクルタンク パーミエイトタンク部含む)」、「調合タンク部」、「貯蔵タンク部」の4部で構成される。

Outlook of Slurry Recycling(スラリーリサイクルのOutlook)
Outlook of Slurry Recycling(スラリーリサイクルのOutlook)

ご契約までの流れ

プレゼンテーションで興味が有り、設置を検討したい

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両社でNDAを交わす

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CMPの使い方把握の為、FAETH社の質問状に記入
> ドレイン・サンプルを提出

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ROI計算値及び提案書を提示
> 装置仕様
> 価格
> 評価期間
> ROI保証値合意

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装置導入の合意

↓

導入後・評価性能確認後 検収購入決定

FAETH社とは

FAETHlogo

FAETH社
FAETH社

FAETH社とは、2004年ミハエル・フェイトのよって、高純度ガス供給システム会社が設立された。 複雑なガス・化学物資の供給システム始め、エンジニアリング・生産・据え付け工事を請け負っている。 標準や開発された仕様のシステム・ターンキープラントも手掛ける。全340人の従業員が8つの国にまたがり活躍している。 世界的に顧客密着型でエンジニア・組み立ての仕事を展開している。

契約:
ドイツ・FAETH社と2013年7月にMBソリューションズ株式会社はスラリーの販売契約を21014年4月に締結し、MBソリューションズが日本の総代理店となる。

FAETH CMP Slurry Recycling(FAETH CMP スラリーリサイクル)

経緯:

2013セミコン台湾での発表
2013セミコン台湾での発表
  • 2000年からドイツでオキサイドスラリーのリサイクル装置開発プロジェクトスタート。
  • フィルター技術のUS特許を昨年取得。
  • ヨーロッパ、米国、東南アジアに販売韓国、台湾、日本はキャンペーン中。
  • TIヨーロッパと開発:セリア、W用を開発中。

特徴:

  • ドレインからの使用済みスラリーの85%を回収。純水は85%再利用水として回収できます。
  • マイクロスクラッチが、フレッシュスラリー100%より少ない結果が得られます。
  • ROIを保証します。
  • 少ない定期部品交換で、PMコストが抑えられています。
  • 分離した水で、頻繁にフィルターをバッフラッシュし、洗浄します。
  • Phチェック、濃度チェックを毎リッターでオンラインチェック、品質を管理します。
  • 装置サイズは工場の規模に合わせて提案。
  • 2010年フィルター技術のUS特許を昨年取得済みです。

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Hlgh Q Factoryとの関係

Hlgh Q Factorylogo

Hlgh Q Factory

HIGH Q FACTORYはFAETHグループのCMPスラリーリサイクル製造事業部門です。詳しくはHPをご覧ください。